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3-6”单晶硅棒


我们采用磁场拉晶及连续加料工艺,提升晶棒电阻率径向均匀度及阻值对档率,单晶硅棒质量品质高于行业标准,可生产电阻率范围0.001-55Ω·cm的轻掺及重掺单晶硅棒,具有行业领先的磁场直拉单晶生长技术。


规格

电阻率Ω·CM

长度mm

晶向

少子寿命μs

外径mm

掺杂剂

形态

径向电阻率变化

氧含量atoms/cm³

含量(atoms/cm³)

抛光棒

定位棒

3

0.001-55

根据客户要求

<111>

>100

76.2±0.3

磷/硼

≤20%

≤1×1018

≤5×1016

4

0.001-55

根据客户要求

<111>

>100

101.6±0.3

磷/硼

≤20%

≤1×1018

≤5×1016

5

0.001-55

根据客户要求

<111>

>100

125±0.3

磷/硼

≤20%

≤1×1018

≤5×1016


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